Kinh ngạc cỗ máy “nóng hơn cả Mặt trời” tạo ra chip cho tương lai

09/04/2025 15:10

Cỗ máy này tạo ra ánh sáng cực tím bằng cách bắn laser vào thiếc nóng chảy, sinh ra plasma nhiệt độ tới 220.000°C – nóng gấp 40 lần Mặt trời.

Thiên Trang (TH)

@{ WContent wContent = wContents.get(0); }

@components.block.ContentTitle(wContent)

Cỗ máy mới nhất của ASML nặng 150 tấn và có giá khoảng 350 triệu USD, là thiết bị tiên tiến nhất trong ngành sản xuất chip. (Ảnh: Người đưa tin)

Máy hoạt động bằng cách bắn 50.000 giọt thiếc nóng chảy mỗi giây trong buồng chân không. (Ảnh: Người đưa tin)

Mỗi giọt thiếc được bắn laser hai lần: lần đầu dẹt giọt thiếc, lần hai tạo ra plasma siêu nóng tới 220.000°C – nóng hơn cả bề mặt Mặt Trời. (Ảnh: Smartprix)

Plasma này phát ra tia cực tím EUV có bước sóng 13.5nm – ánh sáng chỉ xuất hiện tự nhiên ở vành nhật hoa. (Ảnh: Reuters)

Tia EUV được dẫn qua hệ gương siêu mịn, rồi chiếu lên mặt nạ mạch điện và khắc họa tiết lên tấm silicon phủ chất nhạy sáng. (Ảnh: WIOT Group)

Độ chính xác cực cao cho phép in các chi tiết nhỏ tới 8nm, giúp tạo ra các chip hiện đại với hàng trăm tỷ transistor. (Ảnh: WIRED)

Toàn bộ quá trình phải diễn ra trong môi trường chân không tuyệt đối vì ánh sáng EUV bị hấp thụ bởi không khí và kính thông thường. (Ảnh: Analytics India Magazine)

ASML đang nghiên cứu thế hệ tiếp theo có khẩu độ gương lớn hơn (hyper-NA) để in chi tiết nhỏ hơn nữa, dù chi phí và kích thước máy sẽ tăng vọt.(Ảnh: TrendForce)